Det er for tiden ikke mulig å bestille standarder i trykket og innbundet versjon. Dette skyldes utfordringer knyttet til vår trykkerileverandør. Vi arbeider med å løse situasjonen og beklager ulempene dette medfører. For andre løsninger, kontakt salg@standard.no.
Standard

NEK EN 62047-16:2015

Publisert

Rettelser og tillegg kjøpes separat.

Språk
Tjenester

Omfang

IEC 62047-16:2015 specifies the test methods to measure the residual stresses of films with thickness in the range of 0,01 μ to 10 μ in MEMS structures fabricated by wafer curvature or cantilever beam deflection methods.

Dokumentinformasjon

  • Standard fra NEK
  • Publisert:
  • Utgave: 1
  • Versjon: 1
  • Varetype: NAT
  • ICS 31.080.99
  • National Committee NEK/NK47

Produktrelasjon

  • Adoptert fra: EN 62047-16:2015 , 0