Problemer med tilgang til standarder Det er for tiden problemer med tilgang til standarder i Global-abonnement, som API, ASTM, ASME, IEEE m.fl. Feilen påvirker flere tjenester internasjonalt, og det arbeides med å rette problemet.
Standard

NEK EN 62047-9:2011

Publisert

Rettelser og tillegg kjøpes separat.

Språk
Tjenester

Omfang

IEC 62047-9:2011 describes bonding strength measurement method of wafer to wafer bonding, type of bonding process such as silicon to silicon fusion bonding, silicon to glass anodic bonding, etc., and applicable structure size during MEMS processing/assembly. The applicable wafer thickness is in the range of 10 ohmm to several millimeters. The contents of the corrigendum of March 2012 have been included in this copy.

Dokumentinformasjon

  • Standard fra NEK
  • Publisert:
  • Utgave: 1
  • Versjon: 1
  • Varetype: NAT
  • National Committee NEK/NK47

Produktrelasjon

  • Adoptert fra: EN 62047-9:2011 , 0